A system and method for determining a cross sectional feature of a structural element using a reference structural element

기준 구조 엘리먼트를 이용하여 구조 엘리먼트의 단면피쳐를 검출하는 시스템 및 방법

Abstract

제 1 및 제 2 횡방향 섹션 사이에 위치된 중간 섹션에 의해 한정되는 서브-미크론 단면을 갖는 측정 구조 엘리먼트의 단면 피쳐를 검출하는 시스템 및 방법이 제공된다. 상기 방법은 기준 구조 엘리먼트와 제 1 횡방향 섹션 간의 제 1 관계를 검출하기 위해, 제 1 틸트 상태에서, 기준 구조 엘리먼트의 제 1 부분과 적어도 측정 구조 엘리먼트의 제 1 횡방향 섹션을 스캐닝하는 제 1 단계에 의해 개시된다. 상기 제 1 단계는 기준 구조 엘리먼트와 제 2 횡방향 섹션 간의 제 2 관계를 검출하기 위해, 제 2 틸트 상태에서, 기준 구조 엘리먼트의 제 2 부분과 적어도 측정 구조 엘리먼트의 제 2 횡방향 섹션을 스캐닝하는 단계로 이어진다. 상기 방법은 제 1 및 제 2 관계에 응답하여 측정 구조 엘리먼트의 단면 피쳐를 검출하는 제 3 단계에 의해 종결된다.
A system and method for determining a cross sectional feature of a measured structural element having a sub- micron cross section, the cross section is defined by an intermediate section that is located between a first and a second traverse sections. The method starts by a first step of scanning, at a first tilt state, a first portion of a reference structural element and at least the first traverse section of the measured structural element, to determine a first relationship between the reference structural element and the first traverse section. The first step is followed by a second step of scanning, at a second tilt state, a second portion of a reference structural element and at least the second traverse section of the measured structural element, to determine a second relationship between the reference structural element and the second traverse section. The method ends by a third step of determining a cross sectional feature of the measured structural element in response to the first and second relationships.

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