Bellows-supporting structure and movable stage device

벨로우즈 지지 구조 및 가동 스테이지 장치

Abstract

A structure for supporting a bellows (1) from the inside has a guiding track (8) provided inside the bellows and extending in the axial direction of the bellows. A moving member (10) is provided so as to be movable in the bellows' axial direction on the guiding track. The moving member and the bellows are connected by an intermediate supporting member (5).
벨로우즈(1)를 내측으로부터 지지하는 구조는, 벨로우즈의 내부에 배치되고 또한 벨로우즈의 축 방향을 따라 연장하는 안내 트랙(8)을 갖는다. 상기 축 방향을 따라 안내 트랙상을 이동 가능하게 이동부재(10)가 배치된다. 이동부재와 벨로우즈는 중간 지지부(5)에 의해서 접속된다.

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