Electrospray nozzle and apparatus and method for cleaning substrate used the nozzle

전자분무 노즐 및 이를 이용한 기판 세정 장치 및 방법

Abstract

본 발명은 기판 상의 세정액을 공급하는 전자 분무 노즐에 관한 것으로, 노즐은 유체 공급기와 하전입자 발생기를 가진다. 상기 유체 공급기는 액 공급부로부터 공급된 세정액이 이동통로인 제 1통로와 가스 공급부로부터 공급된 가스의 이동통로인 제 2통로가 형성된다. 상기 하전입자 발생기는 상기 유체 공급기의 아래에 배치되며 상기 유체 공급기로부터 분사되는 유체가 유입되는 통로가 형성된다. 상기 하전입자 발생기의 측벽에는 내부로 유입된 유체로부터 이온을 발생시키기 위해 전압이 인가되는 전극이 설치된다 전자 분무 노즐, 하전입자, 세정액, 세정 장치

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